LPD（Light Point Defect：光點缺陷）是對無圖形晶圓表面照射雷射光掃描時，使光散射而被偵測為亮點的缺陷總稱。包括表面的異物（微粒）、源自晶體的凹坑（COP）、刮痕、突起等，是表示裸晶圓或成膜後晶圓潔淨度最基本的指標。
偵測使用表面檢測設備（微粒計數器）。將散射光的強度與已知大小的聚苯乙烯乳膠（PSL）標準粒子的散射光比較，以「PSL 換算相當於幾 nm」的形式表示大小。因此，顯示的大小未必與實際缺陷的大小與形狀一致。晶圓規格以例如「某大小以上的 LPD 每片在幾個以下」的形式管理，最先進用途的晶圓會計數到 20nm 左右的缺陷。
LPD 也用於監控設備的汙染。方法是讓測試晶圓（dummy wafer）通過設備，計數前後 LPD 的增加量，以管理設備產生的微粒量。此外，為了區分清洗可去除的附著物與清洗無法去除的晶體缺陷或刮痕，會比較清洗前後的 LPD，或依散射光角度的差異來分類缺陷種類。
