TWINSCAN NXE:3400C的特點與規格

TWINSCAN NXE:3400C 是艾司摩爾的 EUV 曝光機，為 NXE:3400B 的後繼機種。以更高的生產力支援 7nm 與 5nm 節點的 EUV 量產。

結合高生產力、優異解析度、與 EUV 的 NXE 設備及 ArF 浸潤式 NXT 設備間的疊對匹配，以及對焦性能，提供可補足該公司 ArF 浸潤式技術的微影能力。

透過 EUV 光源的產業化，以及疊對、對焦、生產力的改善，使自2019年下半年起具成本效益的量產成為可能。300mm 晶圓的產出規格為每小時 170 片以上。