TWINSCAN NXE:3800E的特點與規格

TWINSCAN NXE:3800E 是艾司摩爾的雙載台 EUV 曝光機，為 NXE:3600D 的後繼機種。支援 2nm 邏輯節點與先進 DRAM 節點的量產。

除改善成像與疊對外，也大幅提升了生產力。設計為以良好成本效益支援 2nm 邏輯與先進 DRAM 量產，其圖案化能力可補足該公司的浸潤式曝光機。

生產力提升的關鍵是新的下部模組。這個與 0.55 NA EXE 平台共通的模組，包含新的晶圓傳送器、更快的晶圓載台等提升產出的零組件。光源輸出也已提高。