高電流離子佈植機是什麼

高電流離子佈植機是以超過 10mA 的大電流射束進行高劑量佈植的設備。負責源極／汲極的形成、多晶矽閘極的摻雜、為降低接觸電阻而形成高濃度層等，需要在短時間內打入大量摻雜物的製程。由於電流大，晶圓的帶電與溫度上升會成為問題，因此以電子噴淋（electron shower）進行的中和機構與晶圓冷卻是設備的關鍵。這是產能直接關係生產成本的類別，每 1 台的處理片數是選擇設備的主要指標。