SHX-Ⅲ/HC 是住友重機械離子科技（SMIT）的單片式高電流離子佈植機。佈植能量為 0.2～60keV，設計上重視在極低能量區域取得高生產力。
全球首次採用結合射束掃描與機械掃描的方式，並搭載新開發的大射束用靜電掃描器與平行化透鏡。最終段設置以靜電場與磁場構成的能量濾波器，取得無能量汙染的高純度射束。實現可對應量產、與漂移模式同樣無能量汙染的 200eV 高射束電流。
以 MIND 系統修正整片晶圓的高精度佈植均勻性，並將金屬汙染降至極小。支援 300mm 晶圓，用於 20～22nm 節點的次世代製程與最先進元件的生產。