VIISta Trident 是應用材料的單晶圓式高電流離子佈植機。在混載記憶體的 CMOS 積體電路中,佈植步驟有時超過 60 道,其中許多會左右元件性能。Trident 是針對這類先進節點要求的機種。
在具量產實績的 VIISta 高電流平台單晶圓架構上,結合雙磁鐵帶狀射束與能量純度模組(EPM),形成陡峭且受控的佈植輪廓。EPM 也能去除射束線零件產生的微粒,使晶圓與汙染隔離。
據廠商資料,它是唯一能以獨家閉迴路控制量測並修正射束角度的高電流機,可高精度且高再現性地控制零度佈植與大傾角佈植的入射角。另有加入極低溫佈植功能的 Trident Crion 配置,用於損傷工程與材料改質。