VIISta HCP的特點與規格

VIISta HCP 是應用材料（前 Varian）的高電流離子佈植機。運用 Varian 率先開發的單晶圓式高電流技術，以高良率與業界最高生產力為目標。

改良雙磁鐵帶狀射束結構，提高射束線穿透率、晶圓上的射束利用效率與射束電流。此結構可使晶圓遠離離子源與射束線產生的微粒。

以閉迴路的 Varian Positioning System 量測並調整射束方向，以高再現性控制 0 度佈植與精確傾角的佈植。