CAPRES A301 microRSPとは
CAPRES A301 microRSP は、KLA のマイクロスケールのシート抵抗計測装置です。従来の 4 探針法をもとにしており、オフラインのテストウェーハでの抵抗計測から、製品ウェーハでのインライン計測へ移行しやすくなっています。
カンチレバーの幅が 500nm までの微細加工した電極アレイを使い、300mm 製品ウェーハのスクライブラインの大きさで動作する初めての非破壊の抵抗計測装置です。
全自動の基本構成で 300mm のブランケットウェーハと製品ウェーハのシート抵抗を測り、構成によってはホール移動度や活性キャリア密度も直接測れます。成膜、CMP、エッチングのインライン監視や装置マッチングに使われます。200mm 用の製品もあります。
主な特長
- •マイクロ 4 探針（電極幅 500nm）
- •スクライブラインで非破壊計測
- •ホール移動度・キャリア密度も測定可能
主な仕様
| 方式 | マイクロ 4 探針（電極幅 500nm まで） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm（200mm 製品もあり） |
| 測定項目 | シート抵抗・ホール移動度・活性キャリア密度 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ナプソンRT-3000／RG-2000（RG-3000） | KLAFilmetrics® R54 | KLACAPRES A301 microRSP® | KLACAPRES CIPTech® | Kokusai Electric（国際電気）VR300DH3 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定方式 | 4探針法（接触・セミオート） | 4探針法（接触）／渦電流（非接触） | — | — | 4探針法（接触・全自動） |
| 対応ウェハ径 | ～ 8 インチ（RG-3000 は ～ 12 インチ） | 300 mm まで | 300 mm（200mm 製品もあり） | — | — |
| 主要用途 | Si・ポリ Si・SiC・新素材の抵抗率マップ | 半導体・化合物半導体の金属膜管理 | — | — | シリコンウェーハなど導電性試料の抵抗率・シート抵抗 |
| 測定範囲 | シート抵抗 1 mΩ/sq ～ 10 MΩ/sq（RT-3000(S)） | シート抵抗・金属膜厚・シートコンダクタンス | — | — | — |
| 方式 | — | — | マイクロ 4 探針（電極幅 500nm まで） | 面内電流トンネリング（CIPTech・IBM からライセンス） | — |
| 測定項目 | — | — | シート抵抗・ホール移動度・活性キャリア密度 | 磁気抵抗（MR）・面積抵抗（RA） | — |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 構成 | — | — | — | 全自動 A301・半自動／手動 M300 | — |
|---|---|---|---|---|---|
| 関連機種 | — | — | — | — | VR300DSE-2P（全自動）／VR300DEC・VR250（マニュアル） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •製品ウェーハのシート抵抗管理
- •成膜・CMP・エッチングの監視
掲載カテゴリ
CAPRES A301 microRSPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
シート抵抗測定装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07