Filmetrics® R54

4探針法と非接触の渦電流法でシート抵抗と金属膜厚をマッピングする KLA の測定器。遮光筐体と 300mm 対応を備える。

Filmetrics R54とは

Filmetrics R54 は、KLA のシート抵抗・導電率マッピング装置です。KLA は 1975年に最初の抵抗率計を出して以来 45 年以上シート抵抗測定に取り組んでおり、Filmetrics R シリーズはその技術をもとに開発されました。

接触式の 4 探針法（4PP）と、非接触の渦電流法の両方で、金属層の膜厚、シート抵抗、シートコンダクタンスをマッピングします。導電膜を使うあらゆる産業でシート抵抗のモニタは重要で、半導体の金属膜管理から、ウェアラブル機器のフレキシブルエレクトロニクスまで使われます。

R54 は R シリーズの最新機で、R50 に遮光筐体と 300mm ウェーハへの対応を加え、半導体と化合物半導体の製造向けに金属膜厚の測定ソリューションを提供します。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ナプソンRT-3000／RG-2000（RG-3000）	KLAFilmetrics® R54	Kokusai Electric（国際電気）VR300DH3
測定方式	4探針法（接触・セミオート）	4探針法（接触）／渦電流（非接触）	4探針法（接触・全自動）
主要用途	Si・ポリ Si・SiC・新素材の抵抗率マップ	半導体・化合物半導体の金属膜管理	シリコンウェーハなど導電性試料の抵抗率・シート抵抗
対応ウェハ径	～ 8 インチ（RG-3000 は～ 12 インチ）	300 mm まで	—
測定範囲	シート抵抗 1 mΩ/sq ～ 10 MΩ/sq（RT-3000(S)）	シート抵抗・金属膜厚・シートコンダクタンス	—