MVD300的特點與規格

MVD300 是科磊（KLA）的分子氣相沉積（MVD）設備。為因應最嚴苛的量產用途，設計上具備高性能、靈活性與可靠度。另有配備全自動化用 EFEM 的 MVD300E。

MVD 製程比傳統的液相成膜方法，能以更高的良率與更好的成本效益生長極薄的有機膜與無機膜。

用於在 MEMS 元件上沉積抗沾黏（anti-stiction）膜與防腐蝕膜等成長領域。