Primaxx Monarch 300 是科磊（KLA，SPTS）的氣相氟化氫（VHF）蝕刻設備。以受控的無水 HF／醇類蝕刻，選擇性地釋放（release）MEMS 的可動部。
支援 200mm 與 300mm 晶圓，以 1 批次最多 13 片進行高產能・高稼動率的批次處理。透過豐富的製程管理與監控功能，確保量產所需的良率、可靠度與再現性。
在 Primaxx 300 fxP 晶圓處理平台上最多可搭載 6 個 VHF 蝕刻模組。視需要也可在 Versalis 平台上與 SPTS 其他的蝕刻或成膜模組組合使用。