Therma-Probe 680XP 是科磊（KLA）用於離子佈植・退火的量測設備。Therma-Probe 系列從先進節點元件到化合物半導體元件，可在各種半導體技術中進行線上劑量（佈植量）監控。
可取得離子佈植的劑量與分布輪廓、佈植與退火的均勻性、射程末端（EOR）損傷等重要製程資訊。高解析度的微觀均勻性分布圖，有助於在佈植・退火製程開發中掌握各設備的特徵（指紋）。
680XP 支援 2Xnm／1Xnm 節點矽系元件佈植・退火製程的線上監控，涵蓋能量與劑量的全部組合。系列中還有 Therma-Probe 780。