Therma-Probe® 680XP

2X/1X nm ノードのシリコンデバイス向けイオン注入・アニール計測装置。

Therma-Probe 680XPとは

Therma-Probe 680XP は、KLA のイオン注入・アニール用の計測装置です。Therma-Probe シリーズは、先端ノードのデバイスから化合物半導体デバイスまで、さまざまな半導体技術でインラインのドーズ（注入量）モニタを可能にします。

イオン注入のドーズとプロファイル、注入とアニールの均一性、エンドオブレンジ（EOR）ダメージといった重要なプロセス情報を得られます。高解像度のマイクロ均一性マップは、注入・アニールのプロセス開発で装置ごとの特徴（フィンガープリント）をつかむのに役立ちます。

680XP は 2Xnm／1Xnm ノードのシリコン系デバイスの注入・アニール工程のインラインモニタに対応し、エネルギーとドーズの組み合わせ全体をカバーします。シリーズには Therma-Probe 780 もあります。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLATherma-Probe® 780	KLATherma-Probe® 680XP
測定方式	サーマルウェーブ（変調レーザーによる反射率変化）	サーマルウェーブ
対象ノード	1X nm 未満	2X nm／1X nm
測定項目	注入ドーズ・プロファイル・アニール均一性・EOR ダメージ	注入ドーズ・プロファイル・均一性マップ
主要用途	イオン注入・アニール工程のインライン監視	イオン注入・アニール工程のインライン監視