離子佈植劑量量測設備是什麼
離子佈植劑量量測設備是驗證離子佈植製程中打入基板的摻雜物量（佈植劑量）及其面內均勻性的量測設備。方式包括以熱波（thermal wave）法偵測佈植所造成的晶格損傷，以及從活化退火後的片電阻換算劑量，用於以監控晶圓進行離子佈植機的日常管理。劑量偏差會直接以臨界電壓變動的形式反映在元件特性上，因此與束流校正同樣是重要的管理項目。
重點整理
以非破壞方式驗證佈植劑量與面內均勻性
主要方式為熱波（thermal wave）法與片電阻換算法
用於以監控晶圓進行離子佈植機的日常管理
劑量偏差會以臨界電壓變動的形式直接反映在元件特性上
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