Therma-Probe 780 是科磊（KLA）的離子佈植・退火量測設備。在製程途中線上監控離子佈植的劑量（佈植量）。
使用讀取調變雷射所產生之反射率變化的熱波技術，取得佈植劑量與分布輪廓、佈植與退火的均勻性、佈植末端損傷（EOR 損傷）等資訊。
可透過高解析度的微觀均勻性分布圖掌握各設備的特徵（指紋），因此也用於佈植・退火製程的開發。除了先進節點外也支援化合物半導體元件，與前一機種 Therma-Probe 680XP 一同列於產品線中。
Therma-Probe 780的特點與規格
科磊（KLA）・離子佈植劑量量測設備
以熱波技術線上監控離子佈植劑量與分布、退火均勻性的設備。針對未滿 1X nm 的節點。
產品概要
主要規格
| 量測方式 | 熱波（以調變雷射造成的反射率變化） |
|---|---|
| 對象節點 | 未滿 1X nm |
| 量測項目 | 佈植劑量・分布輪廓・退火均勻性・EOR 損傷 |
| 主要用途 | 離子佈植・退火製程的線上監控 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以熱波進行非接觸量測
劑量・分布輪廓・均勻性・EOR 損傷
高解析度的微觀均勻性分布圖
主要用途
- 離子佈植的線上監控
- 退火均勻性的評估
- 設備間匹配
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹縣竹北市）：台元科技園區，2025 年啟用新辦公室與訓練中心
- 各地據點（新竹・桃園・林口・台中・台南・高雄）：就近支援各科學園區的客戶