Therma-Probe 780とは
Therma-Probe 780 は、KLA のイオン注入・アニール計測装置です。イオン注入のドーズ（注入量）を工程の途中でインライン監視します。
変調したレーザーで生じる反射率の変化を読むサーマルウェーブ技術を使い、注入ドーズとプロファイル、注入とアニールの均一性、注入端のダメージ（EOR ダメージ）などの情報を得ます。
高解像度のマイクロ均一性マップで装置ごとの特徴（フィンガープリント）をつかめるため、注入・アニール工程の開発にも使われます。先端ノードのほか化合物半導体デバイスにも対応し、前機種の Therma-Probe 680XP とともにラインアップされています。
主な特長
- •サーマルウェーブによる非接触測定
- •ドーズ・プロファイル・均一性・EOR ダメージ
- •高解像度のマイクロ均一性マップ
主な仕様
| 測定方式 | サーマルウェーブ（変調レーザーによる反射率変化） |
|---|---|
| 対象ノード | 1X nm 未満 |
| 測定項目 | 注入ドーズ・プロファイル・アニール均一性・EOR ダメージ |
| 主要用途 | イオン注入・アニール工程のインライン監視 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLATherma-Probe® 780 | KLATherma-Probe® 680XP |
|---|---|---|
| 測定方式 | サーマルウェーブ（変調レーザーによる反射率変化） | サーマルウェーブ |
| 対象ノード | 1X nm 未満 | 2X nm／1X nm |
| 測定項目 | 注入ドーズ・プロファイル・アニール均一性・EOR ダメージ | 注入ドーズ・プロファイル・均一性マップ |
| 主要用途 | イオン注入・アニール工程のインライン監視 | イオン注入・アニール工程のインライン監視 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •イオン注入のインライン監視
- •アニール均一性の評価
- •装置間マッチング
掲載カテゴリ
Therma-Probe 780は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
イオン注入量測定装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07