Atlas III+的特點與規格

Atlas III+ 是 Onto Innovation 的線上 OCD・薄膜量測設備。為廣泛採用的機台，面向成熟技術，在各種製程層與元件上發揮靈活的性能。

從 FEOL 到 BEOL，對所有 OCD 與薄膜層進行穩健的量測。透過資訊量豐富的光學架構，以及 OCD・機器學習的強大分析引擎，在先進邏輯、3D NAND、DRAM 製程中展現優異性能。

具備獨家的光譜反射率與光譜橢圓偏光術解決方案，並與 Ai Diffract OCD 分析軟體搭配，以次 Å 的精密度與準確度管理量產的廣泛製程。