CnCV 是 Onto Innovation 在晶圓狀態下評估寬能隙(WBG)材料的設備。不需製作測試元件,可減少時間與成本。為取代汞探針 CV(MCV)的無汞方法,沒有汙染疑慮。
以新型定表面電位電暈充電,在廣泛電壓範圍內取得所需精度。專利的電荷輔助與光輔助模式,適合在 SiC、Ga₂O₃、GaN、AlGaN/GaN HEMT 等 WBG 材料與結構上兼顧速度與精度。
以使用 UV 輔助電暈電荷中和的強化動態 CV 模式,實現高產能與高精度,進行快速且確實的製程管理。也包含以電暈・克耳文法評估膜中絕緣膜與界面的電性。