Atlas G6 是 Onto Innovation 的 OCD（光學 CD）・薄膜量測設備。專為最先進的邏輯與記憶體設計，針對次世代 AI 應用，提供強化的光學系統、以 AI 進行的配方開發，以及改善的機台間匹配。
隨著轉向次世代 GAA 節點、次世代 HBM 與垂直式 DRAM，製程管理的要求日益嚴苛。奈米片越小、DRAM 單元越密，就越需要量測精度、配方開發速度與機台間匹配。
以新的光學設計提高 S/N 比、光譜穩定性與量測精度。透過改良的軟體與資料管理提高整個機群的光譜匹配，並具備新的資料通道與次世代模型導引。