Celero PL 是 Onto Innovation 面向以 SiC 與 GaN 為基礎的晶圓及化合物半導體材料的表面下缺陷檢測・分類設備。
將雷射相位偵測與影像結合獨家光學系統與影像處理演算法，在 100～300mm 晶圓上實現最高水準的產能與靈敏度。
以多個光源與感測器通道，除了塊材晶圓與磊晶層表面下的晶體缺陷外，也能偵測・量測・影像化表面微粒、刮傷、凹坑、污染、污漬、應力、空洞，以及晶圓邊緣的崩缺與裂痕。
Celero PL的特點與規格
Onto Innovation・晶體缺陷檢測設備
檢測・分類 SiC・GaN 晶圓表面下晶體缺陷的雷射相位偵測・光致發光檢測設備。
產品概要
主要規格
| 方式 | 雷射相位偵測＋影像（多光源・多感測器） |
|---|---|
| 對應晶圓尺寸 | 100～300 mm |
| 對象 | SiC・GaN 等化合物半導體晶圓 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
偵測表面下的晶體缺陷
對應 100～300mm
多光源・多感測器
主要用途
- SiC・GaN 的基板・磊晶檢測
製造商
Onto Innovation（總部：美國）