CnCV®

テストデバイスを作らずに SiC・GaN などワイドバンドギャップ材料をウェーハで評価する、水銀を使わない CV 計測装置。

CnCVとは

CnCV は、Onto Innovation のワイドバンドギャップ（WBG）材料をウェーハのまま評価する装置です。テストデバイスを作らずに済むため、時間とコストを減らせます。水銀プローブ CV（MCV）に代わる水銀フリーの方法で、汚染の心配がありません。

新しい定表面電位のコロナ帯電で、広い電圧範囲にわたって必要な精度を得ます。特許の電荷アシストと光アシストのモードは、SiC、Ga₂O₃、GaN、AlGaN/GaN HEMT などの WBG 材料と構造で速さと精度を出すのに向いています。

UV アシストのコロナ電荷中和を使う強化したキネティック CV モードで、高いスループットと精度を実現し、速く確実な工程管理を行います。コロナ・ケルビンによる膜の絶縁膜と界面の電気特性の評価も含みます。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

CnCVは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

化合物半導体製造装置は、GaAs・InP・GaN・SiCなどの化合物半導体デバイス（パワー半導体・RF/マイクロ波デバイス・光デバイス）の製造に特化した装置群です。

Rudolph Technologies と Nanometrics の統合で誕生した検査・計測メーカー。光学検査、膜厚計測、先端パッケージング計測に強み。