最後更新:2026年10月23日中電流離子佈植機

MC3-Ⅱ的特點與規格(MC)

住友重機械離子科技(SMIT)・中電流離子佈植機

住友重機械離子科技(SMIT)的中電流離子佈植機,採重視操作性與可靠度的構成,負責量產線上的中劑量佈植。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

MC3-Ⅱ/MC 是住友重機械離子科技(SMIT)的中電流離子佈植機。佈植能量範圍寬達 3~960keV,支援 300mm 與 200mm 晶圓。

採用左右對稱的離子束平行化光學系統與獨家的掃描方式,並在最末段配置能量過濾器與減速機構。支援 In、Sb 等重離子的佈植,並致力於高速自動離子束設定、提高低能量區的離子束電流,以及增加多價離子束。

將能量汙染與金屬汙染降到極低,並以 MIND2.0 系統實現晶圓全面的高精度佈植均勻性。透過提高機械產能,生產力也大幅提升。用於 16~14nm 節點的微縮製程與影像感測元件,並預定支援 10nm 以下的節點。

主要規格

類別中電流離子佈植機
特點重視操作性與可靠度的設計
相關機種SAion(高電流/中電流一體型)
主要用途井區形成・臨界電壓調整佈植

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

佈植能量 3~960keV
左右對稱的離子束平行化光學系統、最末段能量過濾器
支援重離子(In・Sb)・多價離子束
以 MIND2.0 達成佈植均勻性

主要用途

  • 16~14nm 節點的微縮製程
  • 影像感測元件(影像感測器)

製造商

住友重機械離子科技(SMIT)(總部:日本)

所屬設備分類

相關用語

同分類的其他機型

住友重機械離子科技(SMIT)的其他機型

資料來源

  1. 住友重機械離子科技(SMIT)官方產品頁面:MC3- MC