最後更新:2026年10月23日PVD 設備

ENTRON-EX W300的特點與規格

愛發科(ULVAC)・PVD 設備

獲許多量產工廠認證的多腔體式濺鍍設備。為 ENTRON-EXX 之前的既有機型。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

ENTRON-EX W300 是愛發科(ULVAC)的多腔體式濺鍍設備。支援最先進的半導體邏輯、記憶體(DRAM、NAND、次世代非揮發性記憶體)、封裝等多品種元件的生產。是轉移至 ENTRON-EXX 之前的既有機型。

追求量產性、空間效率與穩定性而持續改良,是獲許多量產工廠認證的長銷機種。最多可搭載 10 個濺鍍、預清潔、加熱、冷卻製程,以該公司製新型傳送機械手臂實現 100 wph 以上的機械產能。

有針對專用製程與迷你晶圓廠的單一平台,以及針對超大型晶圓廠的串接平台,並搭載監控・管理設備運轉狀態的 EES 系統。用於金屬導線、重布線層(RDL)、保護遮罩、電性連接、功能膜的形成。

主要規格

構成最多 10 個製程(濺鍍・預清潔・加熱・冷卻)
產能機械產能 100 wph 以上
平台單一・串接(Tandem)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最多 10 個製程
機械產能 100 wph 以上
單一/串接
搭載 EES 系統

主要用途

  • 邏輯・記憶體的金屬導線
  • RDL 形成

製造商

愛發科(ULVAC)(總部:日本)

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資料來源

  1. 愛發科(ULVAC)官方產品頁面:ENTRON-EX W300