ENTRON-EX W300 是愛發科(ULVAC)的多腔體式濺鍍設備。支援最先進的半導體邏輯、記憶體(DRAM、NAND、次世代非揮發性記憶體)、封裝等多品種元件的生產。是轉移至 ENTRON-EXX 之前的既有機型。
追求量產性、空間效率與穩定性而持續改良,是獲許多量產工廠認證的長銷機種。最多可搭載 10 個濺鍍、預清潔、加熱、冷卻製程,以該公司製新型傳送機械手臂實現 100 wph 以上的機械產能。
有針對專用製程與迷你晶圓廠的單一平台,以及針對超大型晶圓廠的串接平台,並搭載監控・管理設備運轉狀態的 EES 系統。用於金屬導線、重布線層(RDL)、保護遮罩、電性連接、功能膜的形成。