Propel 是 Veeco 的 GaN(氮化鎵)系 MOCVD 設備系列。採用單晶圓式反應器技術,進行功率、5G RF、光子學用 GaN 元件的磊晶成長。
產品線包括量產用的 Propel HVM、處理 300mm 基板的全自動單晶圓叢集式機種 Propel 300mm,以及研發與少量生產用的彈性 GaN 系系統。300mm 機種以 5G RF、光子學與先進 CMOS 元件為對象。
Veeco 除了 GaN 系的 Propel 外,也推出針對 As/P 系磊晶、採用獨家 TurboDisc 反應器技術的 Lumina/Lumina+,以及 LED 生產用的 EPIK 868,涵蓋顯示器、3D 感測、LiDAR、微型 LED、光通訊等用途。