QUIXACE-LV 是國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)支援 300mm 的大批次 EPI 成膜設備。集結該公司核心技術——溫度控制、自動傳送、真空・氣體置換、冷卻與成膜技術,大幅縮短了週期時間。
最大特點是將晶圓裝載區做成真空負載鎖定結構。由於能將晶圓與大氣隔絕後送入反應爐,可大幅減少左右磊晶成長品質的原生氧化層與汙染,實現更高品質的成膜。
批次處理能力與該公司產品相比最多為 1.25 倍,特點是可在深溝槽形狀上均勻成膜,以及在低溫下進行高精度・高品質的成膜。也提供健康檢查功能作為選配。