最後更新:2026年10月23日磊晶成長設備

QUIXACE-LV的特點與規格

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)・磊晶成長設備

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)的 300mm 大批次 EPI 成膜設備。將晶圓裝載區做成真空負載鎖定結構,減少原生氧化層與汙染。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

QUIXACE-LV 是國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)支援 300mm 的大批次 EPI 成膜設備。集結該公司核心技術——溫度控制、自動傳送、真空・氣體置換、冷卻與成膜技術,大幅縮短了週期時間。

最大特點是將晶圓裝載區做成真空負載鎖定結構。由於能將晶圓與大氣隔絕後送入反應爐,可大幅減少左右磊晶成長品質的原生氧化層與汙染,實現更高品質的成膜。

批次處理能力與該公司產品相比最多為 1.25 倍,特點是可在深溝槽形狀上均勻成膜,以及在低溫下進行高精度・高品質的成膜。也提供健康檢查功能作為選配。

主要規格

適用晶圓尺寸300 mm
方式大批次立式(真空負載鎖定)
特點最多 1.25 倍的批次處理(與該公司產品相比)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

真空負載鎖定結構的裝載區
大幅減少原生氧化層與汙染
最多 1.25 倍的批次處理(與該公司產品相比)
低溫下高精度・高品質的成膜

主要用途

  • 批次式磊晶成長
  • 對深溝槽結構的均勻成膜

製造商與在台據點

在台據點
  • 亞太國際電機(Kokusai Electric Asia Pacific)(新竹):1996 年 9 月成立的台灣子公司

所屬設備分類

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資料來源

  1. 國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)官方產品與服務資訊:KOKUSAI ELECTRIC