COMPANY DATABASE
ダイヘン
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、ウェハ搬送ロボットと高周波電源という二つの重要ユニットを同時に供給する数少ないメーカーとして位置づけられます。プラズマ装置の要となる部分です。
企業の強み
高周波電源と整合器を自社設計
大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
電力変換技術の長い蓄積
主要製品・ソリューション
高周波電源
- •RFジェネレータ
- •整合器（マッチングボックス）
搬送ロボット
- •ウェハ搬送ロボット
- •真空搬送ロボット
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ダイヘンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
貴社の情報をSemiraiに掲載しませんか？
無料プランからご利用いただけます。