当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、ウェハ搬送ロボットと高周波電源という二つの重要ユニットを同時に供給する数少ないメーカーとして位置づけられます。プラズマ装置の要となる部分です。
企業の強み
高周波電源と整合器を自社設計
大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
電力変換技術の長い蓄積
主要製品・ソリューション
高周波電源
- •RFジェネレータ
- •整合器（マッチングボックス）
搬送ロボット
- •ウェハ搬送ロボット
- •真空搬送ロボット
関連装置カテゴリ
高周波電源・電源ユニット
RF電源・電源システムは、プラズマを用いるエッチング・CVD（PECVD）・PVD（スパッタ）装置に高周波/直流電力を供給するサブシステムです。
メーカー 5 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社装置部品・サブシステム装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ダイヘンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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