平田機工
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
日本・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品・ファブ自動化カテゴリでは、装置メーカーへ搬送ユニットを供給するインテグレータとして位置づけられます。EFEMやロードポートは装置の「入口」を担う部分です。
企業の強み
生産ラインのインテグレーション力
ウェハ搬送ユニットの設計・製造
自動車・家電を含む幅広い自動化実績
主要製品・ソリューション
搬送ユニット
- •EFEM
- •ロードポート
- •ウェハ搬送ユニット
生産システム
- •自動組立ライン
関連装置カテゴリ
ウェハキャリア・FOUP・EFEM
ウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社装置部品・サブシステム装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、平田機工を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
平田機工 のご担当者様へ
このページの掲載内容を貴社で管理できます（企業ページの認領）。情報の修正は無料、詳細掲載や資料掲載は有料プランでご利用いただけます。
※ 税別。有料プランは最低3ヶ月から。 プランの詳細を見る