当サイトでの位置づけ
Semirai の計測カテゴリでは、ウェハの抵抗率・シート抵抗という「電気的な出来ばえ」を測る専業メーカーとして位置づけられます。膜厚計測や欠陥検査とは別軸の評価指標を扱います。
企業の強み
四探針法と非接触渦電流方式の両方に対応
抵抗率・シート抵抗測定に特化した専業性
インライン向けから研究用途まで幅広い機種
主要製品・ソリューション
抵抗測定装置
- •四探針抵抗率測定装置
- •非接触シート抵抗測定装置
ナプソンの製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ナプソンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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