膜組成分析装置（XRF/FTIR）メーカー4社
膜組成分析装置は、成膜した薄膜の組成比・膜厚・不純物濃度を非破壊で評価する装置群です。蛍光X線分析（XRF）は金属膜の膜厚と組成を短時間で定量でき、めっき膜やバリアメタルの管理に用いられます。FTIR（フーリエ変換赤外分光）はSiO₂やSiN膜中のSi-H・N-H結合や水分量を検出し、膜質の指標として使われます。X線回折（XRD）を併用すれば結晶配向や膜応力まで評価でき、成膜条件の最適化に直結します。
主要特徴
メーカー
4社の主要メーカー
X線回折・X線分析装置の専業メーカー。半導体薄膜の結晶性評価や材料研究向けのX線分析技術で、グローバルに事業展開する。
- •X線分析装置の専業メーカー
- •薄膜・結晶構造評価に強み
科学計測機器・半導体計測装置の世界的メーカー。AFM（原子間力顕微鏡）・X線計測・電子顕微鏡を半導体製造の計測・品質管理に提供。
- •半導体向けAFM（原子間力顕微鏡）で世界最大手。ナノスケール形状計測に必須
- •X線回折（XRD）・X線反射率（XRR）による非破壊膜厚・結晶品質計測
X線回折（XRD）・蛍光X線分析（XRF）装置の専業メーカー。半導体薄膜の結晶性・組成分析、材料開発向けの精密分析装置をグローバルに供給する。
- •X線回折分析でグローバルトップクラス
- •薄膜・材料評価向け専用装置を展開
分光分析装置の国内メーカー。FTIR（赤外分光）、ラマン分光装置、紫外可視分光光度計などを供給し、薄膜の組成評価や有機汚染の同定といった分析用途に使われる。
- •FTIR・ラマンなど分光分析の総合ラインナップ
- •国内開発・製造による装置の作り込み
関連カテゴリ
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メーカー 3 社