ICPMS-2050

無機元素を定性・定量する島津製作所の ICP 質量分析計の高感度モデル。不要イオンを除く新機構で特定元素の感度を高めた。

ICPMS-2050とは

ICPMS-2050 は、島津製作所の ICP 質量分析計（ICP-MS）です。誘導結合プラズマで試料をイオン化し、質量分析で微量元素を測定します。半導体の分野では、薬液や超純水、ウェーハ表面の金属汚染といった極微量の不純物分析に使われます。

進化した独自のミニトーチシステムで、環境負荷と分析性能を両立しています。新開発のコリジョン・リアクションセルと高性能の四重極マスフィルターを備えます。

セルガスの高速切り替えや特別な機能で、追加オプションなしに測定時間を短縮できます。試料測定中に導入系を洗浄するプレリンス機能、洗浄を自動で最適化するエクステンデッドリンス、プラズマ点灯後の無人運転を可能にするソリューション切替バルブ、設置後すぐに分析を始められるプリセットメソッドなど、オペレーターの操作を最小限にする設計です。iF デザイン賞 2024 とレッドドット・デザイン賞 2024 を受賞しています。

主な特長

•独自のミニトーチシステム
•新開発のコリジョン・リアクションセル
•高速セルガス切替・プレリンスによる測定時間短縮
•プリセットメソッドと無人運転

主な仕様

分析手法	ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析）
分析対象	液体中の微量無機元素
特徴	独自トーチで従来機比約 2 倍の感度・Ar 消費量約 2/3
主要用途	薬液・超純水中の金属不純物分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	アルバック・ファイPHI nanoTOF 3+	島津製作所ICPMS-2050
分析手法	TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析）	ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析）
分析対象	表面の有機・無機汚染（微小部）	液体中の微量無機元素
特徴	空間分解能 50 nm（高空間分解能モード）・全自動分析	独自トーチで従来機比約 2 倍の感度・Ar 消費量約 2/3
主要用途	半導体・電池材料の表面汚染・組成分析	薬液・超純水中の金属不純物分析