EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，能量散佈 X 射線分析）是量測以電子束照射試樣時，射出的各元素特定能量的 X 射線（特性 X 射線），以調查含有哪些元素、含量多少的分析方法，也稱為 EDS。偵測器一般安裝在 SEM（掃描式電子顯微鏡）或 TEM（穿透式電子顯微鏡）上使用，最大特色是能直接分析影像中看到的位置。
電子束把原子內層的電子撞出後，外層電子會落入空出的位置，並放出相當於能量差的 X 射線。這個能量依元素而定，因此量測 X 射線的能量分布（能譜）就能辨識元素。一邊以電子束掃描試樣表面一邊量測，可以得到以顏色區分各元素分布的圖（元素分布圖，mapping）。
在半導體中，用於調查晶圓上發現的異物（微粒）由什麼元素組成以找出來源，或在故障晶片的斷面上調查導線與膜材料的分布、腐蝕與擴散的情形。雖然簡便快速，但有輕元素靈敏度低、能量相近的 X 射線重疊而難以區分、可偵測濃度大約到0.1重量% 等限制，也無法得知化學鍵狀態。微量分析使用 SIMS，化學狀態使用 XPS。
