EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy：エネルギー分散型X線分析）とは、電子線を試料に当てたときに出てくる、元素ごとに決まったエネルギーのX線（特性X線）を測って、どの元素がどれだけ含まれているかを調べる分析方法です。EDSとも呼ばれます。検出器はSEM（走査型電子顕微鏡）やTEM（透過型電子顕微鏡）に取り付けて使うのが一般的で、画像で見た場所をそのまま分析できるのが最大の特長です。
電子線が原子の内側の電子をはじき出すと、外側の電子がその空いた場所に落ち込み、そのエネルギーの差に相当するX線が出ます。このエネルギーは元素ごとに決まっているため、X線のエネルギーの分布（スペクトル）を測れば元素が分かります。電子線で試料の表面をなぞりながら測ると、元素ごとの分布を色分けした地図（元素マッピング）が得られます。
半導体では、ウェハの上に見つかった異物（パーティクル）が何の元素でできているかを調べて発生源を突き止めたり、故障したチップの断面で配線や膜の材料の分布、腐食や拡散の様子を調べたりするのに使われます。手軽で速い一方、軽い元素の感度が低い、近いエネルギーのX線が重なって見分けにくい、検出できる濃度はおおむね0.1重量%程度までといった限界があり、化学結合の状態は分かりません。微量の分析にはSIMS、化学状態にはXPSが使われます。
