最後更新:2026年10月8日晶圓廠・廠務設施晶圓廠廠務設施(廢氣處理・超純水・化學品供應)中國大陸:二次配(设备接驳工程)

Hook-up(設備配管配線連接工程)是什麼

Hook-up

Hook-up是指在半導體工廠安裝製造設備後,以管線或配線將設備與氣體・化學品・超純水・冷卻水・排氣・電源等公用設施連接的工程。整座工廠的主幹線稱為1次側,從主幹線到設備的部分稱為2次側。由於需連接數千台規模的設備,會大幅左右投產的期間與費用,施工品質也直接關係到良率與安全。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

Hook-up是指在半導體工廠安裝製造設備後,以管線或配線將設備與工廠公用設施連接起來的工程。英文意指「連接・接上」。設備單獨無法運轉,必須接收製程氣體、化學品、超純水、冷卻水(PCW)、氮氣或乾燥空氣、真空、排氣、電源、通訊線路等多種公用設施後才能運作,因此Hook-up是設備裝機不可或缺的工程。

Hook-up一般分為1次側與2次側。1次側是遍布整座工廠的主幹管線・配線,與廠房興建同步施工。2次側是從主幹線分支、連接到個別設備接頭的部分,在設備搬入・安裝後進行。氣體管線使用內面經電解拋光的不鏽鋼管以焊接連接,並進行洩漏檢查,以及去除管內水分與微粒的吹淨(purge)。對於毒性或可燃性氣體,還包括與氣體偵測器及緊急遮斷閥的連動,以及與作為排氣接續端的尾氣處理設備的連接。

大規模工廠需連接數百至數千台設備,因此Hook-up占工廠投產期間與費用的很大部分,由專業的設備工程公司承包。施工品質不佳時,管線帶入的微粒或金屬・水分污染會降低良率,洩漏則可能導致重大事故。因此,管線的材料・施工・檢查標準都有嚴格規定,並在設備廠商・工廠・工程公司協調好連接點(使用點,point of use)的規格後才施工。

Hook-up(設備配管配線連接工程)的常見問題

Hook-up是什麼意思?
英文意指「連接・接上」,在半導體工廠中指以管線或配線將製造設備與工廠公用設施(氣體・化學品・超純水・冷卻水・排氣・電源等)連接起來的工程。是設備搬入・安裝後、開始運轉前必定進行的工程。
Hook-up的1次側與2次側有何不同?
1次側是遍布整座工廠的公用設施主幹線,與廠房興建同步施工。2次側是從主幹線分支、連接到個別設備接頭的部分,在設備安裝後逐台施工。

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