Hook-up是指在半導體工廠安裝製造設備後,以管線或配線將設備與工廠公用設施連接起來的工程。英文意指「連接・接上」。設備單獨無法運轉,必須接收製程氣體、化學品、超純水、冷卻水(PCW)、氮氣或乾燥空氣、真空、排氣、電源、通訊線路等多種公用設施後才能運作,因此Hook-up是設備裝機不可或缺的工程。
Hook-up一般分為1次側與2次側。1次側是遍布整座工廠的主幹管線・配線,與廠房興建同步施工。2次側是從主幹線分支、連接到個別設備接頭的部分,在設備搬入・安裝後進行。氣體管線使用內面經電解拋光的不鏽鋼管以焊接連接,並進行洩漏檢查,以及去除管內水分與微粒的吹淨(purge)。對於毒性或可燃性氣體,還包括與氣體偵測器及緊急遮斷閥的連動,以及與作為排氣接續端的尾氣處理設備的連接。
大規模工廠需連接數百至數千台設備,因此Hook-up占工廠投產期間與費用的很大部分,由專業的設備工程公司承包。施工品質不佳時,管線帶入的微粒或金屬・水分污染會降低良率,洩漏則可能導致重大事故。因此,管線的材料・施工・檢查標準都有嚴格規定,並在設備廠商・工廠・工程公司協調好連接點(使用點,point of use)的規格後才施工。