阻抗匹配器（匹配網路、匹配箱）是讓 RF 電源的輸出阻抗（通常為 50Ω）與電漿負載阻抗一致，將功率有效輸入電漿的電路。若未取得匹配，大部分功率會以反射波的形式回到電源，不僅使電漿不穩定，也會損傷電源本身。
電路由可變電容與線圈構成的 L 型、π 型 LC 電路組成。電漿阻抗會隨氣體種類、壓力、功率及腔壁狀態不斷變化，因此基本做法是自動匹配：一邊偵測反射波，一邊以馬達轉動可變電容，持續追蹤匹配點。完成匹配所需的時間（匹配時間）典型值約為數百ms，這段時間會加到製程的上升時間中。
隨著脈衝電漿普及，出現了機械式可變電容無法追隨的領域。為了因應以數kHz 開關的負載變動，業界採用了使用 PIN 二極體或切換式電容的半導體式高速匹配（固態匹配），以及在電源端微調頻率來取得匹配的頻率調諧。
匹配器也是製程「可視化」的關鍵。匹配位置（電容角度）與反射功率的變化是反映腔體狀態的指標，隨著沉積物累積或內襯耗損，匹配點會漂移。以 APC（先進製程控制）監控這些數值，用於預測 PM 時機與異常偵測，是現代的運用方式。
一般由 Advanced Energy、MKS Instruments 等 RF 電源廠商與電源成套供應。由於是連同纜線長度與腔體結構在內，作為「整個 RF 傳輸系統」來設計，因此與設備廠商的共同最佳化不可或缺。