LPD（Light Point Defect：輝点欠陥）とは、パターンのないウェハの表面にレーザー光を当てて走査したとき、光を散乱して明るい点として検出される欠陥の総称です。表面の異物（パーティクル）、結晶由来のくぼみ（COP）、傷、突起などが含まれ、ベアウェハや成膜後のウェハの清浄度を表す最も基本的な指標です。
検出には、表面検査装置（パーティクルカウンタ）が使われます。散乱光の強さを、大きさの分かったポリスチレンラテックス（PSL）の標準粒子の散乱光と比べ、「PSL換算で何nm相当」という形で大きさを表します。そのため、表示される大きさは実際の欠陥の大きさや形とは必ずしも一致しません。ウェハの仕様では、たとえば「ある大きさ以上のLPDが1枚あたり何個以下」という形で管理され、最先端向けのウェハでは20nm前後の欠陥まで数えます。
LPDは、装置の汚れの監視にも使われます。ダミーのウェハを装置に通して前後のLPDの増え方を数える方法で、装置が出すパーティクルの量を管理します。また、洗浄で取れる付着物と、洗浄で取れない結晶欠陥や傷を区別するため、洗浄の前後でLPDを比べたり、散乱光の角度の違いで欠陥の種類を分類したりします。
