成熟製程(Mature Node)是指並非最先進、而是量產技術已經確立之世代的半導體製程。雖然沒有明確定義,一般多指28nm 以上的世代,也稱為傳統製程、傳統節點(legacy node)。
以成熟製程生產的有微控制器、電源 IC、類比 IC、顯示驅動 IC、影像感測器、功率半導體以及各種感測器,大量用於汽車、工業設備與家電。比起微縮帶來的效能提升,更重視成本、長期穩定供應以及耐高溫、耐高壓的特性。
製造時不使用先進製程那樣的 EUV 曝光機,而是以 KrF、ArF、i-line 曝光機等技術已確立的設備為主。200mm 產線也很多,設備採購中二手設備與設備廠商再生品的比重很大。
在2021年前後的半導體短缺中,以成熟製程生產的車用微控制器等供不應求,導致汽車減產。其後以中國廠商為中心,成熟製程的產能大幅擴充,成為價格競爭以及各國出口管制、貿易政策的議題。