最後更新:2026年10月8日晶圓製造・基板加工二手設備・成熟製程中國大陸:200mm晶圆(8英寸晶圆)

200mm 晶圓(8 吋晶圓)是什麼

200mm Wafer

200mm 晶圓是直徑200mm(約8吋)、厚度725μm 的矽晶圓。先進產品已轉移至300mm,但在功率半導體、MEMS、感測器、類比 IC 的量產上至今仍是主力;由於許多設備已停產,二手設備與再生品支撐著設備採購。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

200mm 晶圓是指直徑200mm(約8吋)的矽晶圓。1990年代成為量產主力,2000年代轉向300mm 之後,仍廣泛用於功率半導體、MEMS、感測器、類比 IC、顯示驅動 IC 等的量產。

SEMI 標準的200mm 晶圓厚度為725μm,標示結晶方位的記號一般採用在圓周一部分切出 V 字形缺口的凹口(notch)(150mm 以下則以定位平邊(orientation flat)為主流)。

200mm 產線的設備,許多機種已經停產或新品供應有限,二手設備與設備廠商的再生品在設備採購中佔很大比重。受到汽車電動化與工業設備需求帶動,200mm 產能持續擴充,SiC 功率半導體也正從150mm 轉向200mm。

晶圓搬運多採用卡匣(cassette)搭配 SMIF 傳送盒的方式。相較於以 FOUP 與天車搬運(OHT)全自動搬運為前提的300mm 產線,人工搬運的比例較高。

200mm 晶圓(8 吋晶圓)的常見問題

200mm 晶圓是幾吋?
約8吋。直徑200mm 配合英語圈的英吋標示,稱為8吋晶圓。同樣地,300mm 稱為12吋,150mm 稱為6吋。
200mm 晶圓現在還在使用嗎?
是的。在功率半導體、MEMS、感測器、類比 IC、顯示驅動 IC 等的量產上至今仍是主力,且在汽車電動化的帶動下,產能也持續擴充。SiC 功率半導體正從150mm 轉向200mm。

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