二手半導體設備是指因半導體廠商的工廠關閉、設備汰換、退出事業等原因而不再使用的製造設備,經整修、再生後,為了在其他工廠重新使用而買賣的設備。曝光、薄膜沉積、蝕刻、清洗、檢測、測試等,從前段製程到後段製程幾乎所有設備都在其範圍內,透過二手設備專業貿易商、設備廠商的認證二手計畫以及線上交易平台進行交易。
支撐二手設備需求的,是以200mm 以下晶圓生產的功率半導體、MEMS、感測器、類比 IC 與化合物半導體。這些產品不需要最先進的微細加工,另一方面,200mm 用的新品設備機種有限、交期也容易拉長,因此將既有設備再生後導入不僅更快,也能壓低設備投資。即使是300mm,在成熟製程產線或研發用途上也會使用二手設備。
交易形態大致分為:以收購時的狀態直接交付的現況交貨(As-Is)、已完成動作確認與零件更換的整修品,以及由設備廠商依規格再生並附保固的認證二手品(翻新品),依此順序價格與可靠度逐步提高。購買時需要確認運轉履歷、缺件、控制軟體授權能否移轉、保養零件能否持續供應,以及是否屬於出口管制對象。
要將設備移到其他工廠,必須經過拆機、除污、包裝、運輸、重新安裝與啟用調整,由專業物流公司或二手設備業者承包。也有不只單台設備、而是整座工廠一併轉讓的交易,收購運轉中的晶圓廠,能以比新建更短的時間開始生產。