二手設備・成熟製程

涵蓋二手半導體設備的交易、整新與維護,以及在成熟製程節點的應用。功率元件、類比 IC、感測器等產品多採用成熟製程生產,二手設備是這類產線建置與擴充的重要且具成本效益的選項。

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用語解說(8 個)

  • 二手半導體設備
    二手半導體設備是指因工廠關閉或設備汰換而不再使用的製造設備,經整修、再生後,為了在其他工廠重新使用而買賣的設備。在新品供應有限的200mm 以下功率半導體、MEMS、類比 IC 產…
  • 設備翻新(Refurbishment)
    翻新(Refurbishment)是將使用過的半導體製造設備拆解、清洗,更換磨耗零件,使其恢復到原始規格性能的再生作業。若由設備廠商自行進行,會附原廠零件與保固;艾司摩爾(ASML…
  • 成熟製程
    成熟製程是指量產技術已經確立之世代的半導體製程,一般指28nm 以上,也稱為傳統製程(legacy process)。微控制器、電源 IC、類比 IC、功率半導體等車用與工業設備用…
  • 200mm 晶圓(8 吋晶圓)
    200mm 晶圓是直徑200mm(約8吋)、厚度725μm 的矽晶圓。先進產品已轉移至300mm,但在功率半導體、MEMS、感測器、類比 IC 的量產上至今仍是主力;由於許多設備已…
  • 300mm 晶圓(12 吋晶圓)
    300mm 晶圓是直徑300mm(約12吋)、厚度775μm 的矽晶圓。面積約為200mm 的2.25倍,先進邏輯、DRAM、NAND 幾乎全部以300mm 生產,並以 FOUP …
  • i-line 步進機
    i-line 步進機是以汞燈明線光譜中的 i-line(波長 365nm)為光源的縮小投影曝光設備,設備成本低且可靠度高,至今仍廣泛用於成熟節點的產線。
  • 步進機(縮小投影曝光機)
    步進機(縮小投影曝光機)是以縮小投影鏡頭將倍縮光罩的電路圖形曝光到晶圓上的1個區塊(shot),並一邊逐步移動晶圓一邊重複相同曝光的「步進重複(step-and-repeat)」方…
  • 晶圓產能
    晶圓產能是指半導體晶圓廠在一定期間內能處理的晶圓總片數,通常以「wafer starts per month(每月投片量)」或「wafer outs per month(每月產出片…

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最後更新:2026年10月8日