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無塵室潔淨度等級計算工具（ISO 14644-1）

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重點

ISO 14644-1 的濃度上限為 Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 個/m³，ISO 5 的 0.5µm 以上微粒上限為 3,520 個/m³。舊美國標準的 Class 100（每立方英尺 0.5µm 以上 100 個）相當於 ISO 5，Class 1000 相當於 ISO 6。

輸入

計算方向目標粒徑 D（以上）（µm）ISO 等級 N（可輸入小數）無塵室面積（計算量測點數用）（m²）

ISO 5、0.5 µm 以上的濃度上限3,517個/m³

（每 ft³）99.58個/ft³

（每 L）3.517個/L

每點最少採樣量5.7 L

最少量測點數（100 m²）16點

舊美國標準 FED-STD-209E 的對應等級Class 100

ISO 14644-1 的分級對象為 0.1〜5 µm 的粒徑。量測點數依 2015 年版表 A.1，與 1999 年版的「面積平方根」不同。

各 ISO 等級的濃度上限（個/m³，粒徑以上的累計）

等級	0.1µm	0.2µm	0.3µm	0.5µm	1µm	5µm	FED-STD-209E
ISO 1	10	2	1	—	—	—	—
ISO 2	100	24	10	4	—	—	—
ISO 3	1,000	237	102	35	8	—	Class 1
ISO 4	10,000	2,365	1,018	352	83	3	Class 10
ISO 5	1.00×10⁵	23,651	10,176	3,517	832	29	Class 100
ISO 6	1.00×10⁶	2.37×10⁵	1.02×10⁵	35,168	8,318	293	Class 1,000
ISO 7	1.00×10⁷	2.37×10⁶	1.02×10⁶	3.52×10⁵	83,176	2,925	Class 10,000
ISO 8	1.00×10⁸	2.37×10⁷	1.02×10⁷	3.52×10⁶	8.32×10⁵	29,251	Class 100,000
ISO 9	1.00×10⁹	2.37×10⁸	1.02×10⁸	3.52×10⁷	8.32×10⁶	2.93×10⁵	—

晶圓廠的潔淨度

ISO 等級的數字代表「每立方公尺中 0.1µm 以上的微粒不超過 10 的 N 次方個」，等級每升高 1，容許微粒數就增加 10 倍。舊美國標準的「Class 100」是指每立方英尺中 0.5µm 以上的微粒不超過 100 個，相當於 ISO 5。台灣的現場至今仍常用 Class 100、Class 1000 的說法。

最先進的晶圓廠讓晶圓待在 FOUP 與設備前端模組（EFEM）中，維持相當於 ISO 1〜2 的環境，而人員作業的區域則設計在 ISO 4〜6 左右。用密閉載具搬送晶圓，比讓整座廠房都達到超高潔淨度，能大幅降低建廠費用與空調運轉成本。

常見問題

Class 100 是 ISO 幾級？

相當於 ISO 5。Class 1 = ISO 3、Class 10 = ISO 4、Class 1000 = ISO 6、Class 10000 = ISO 7、Class 100000 = ISO 8。

量測點數怎麼決定？

ISO 14644-1:2015 依面積查表 A.1，例如 100 m² 需 16 點、1000 m² 需 27 點；1999 年版的「面積平方根」已不再使用。

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最後更新：2026年10月22日

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