旋轉沖洗乾燥機（SRD：Spin Rinse Dryer）是在清洗或蝕刻後，一邊旋轉晶圓一邊以超純水沖洗（rinse），接著直接高速旋轉、以離心力甩掉水分使其乾燥的設備。由於可在 1 台機台上連續完成沖洗與乾燥，長期廣泛用於濕式製程最後的收尾。
代表性的方式是將多片晶圓維持裝在卡匣中、在容器內旋轉的批次式，用來一次乾燥在濕式清洗槽完成藥液處理的晶圓。在容器中噴灑超純水沖掉藥液後，提高轉速甩掉水分，再通入加熱過的氮氣等完成乾燥。也有逐片旋轉進行相同處理的單片式機型，而在單片式清洗設備中，一般是在同一個處理腔內完成從清洗到乾燥的步驟。
課題在於水滴乾燥時溶在其中的微量成分或二氧化矽殘留形成的「水痕」，以及乾燥過程中揚起的微粒再附著。尤其疏水性的矽表面容易殘留水滴，更容易形成水痕。因此，在需要更嚴格潔淨度的製程中，會使用利用表面張力差將水拉離的 IPA 乾燥（馬蘭哥尼乾燥），或針對微細圖形的超臨界乾燥。
