スピンリンスドライヤ（SRD：Spin Rinse Dryer）とは、洗浄やエッチングの後のウェハを回転させながら超純水で洗い流し（リンス）、そのまま高速で回して遠心力で水を振り切り、乾かす装置です。リンスと乾燥を1台で続けて行えるため、ウェット工程の最後の仕上げとして広く使われてきました。
代表的な方式は、複数のウェハをカセットに入れたまま容器の中で回転させるバッチ式で、ウェットベンチで薬液の処理をしたウェハをまとめて乾かします。容器の中で超純水を吹き付けて薬液を洗い流した後、回転を上げて水を飛ばし、温めた窒素などを流して乾燥を仕上げます。1枚ずつ回転させて同じ処理をする枚葉式のものもあり、枚葉式の洗浄装置では、洗浄から乾燥までを同じ処理室で行うのが一般的です。
課題は、水滴が乾くときに溶けていた微量の成分やシリカが残る「ウォーターマーク」と、乾燥中に舞い上がったパーティクルの再付着です。特に、疎水性のシリコン表面は水滴が残りやすく、ウォーターマークができやすくなります。このため、より厳しい清浄度が必要な工程では、表面張力の差を使って水を引き離すIPA乾燥（マランゴニ乾燥）や、微細なパターン向けの超臨界乾燥が使われます。
