批次式清洗設備是什麼

批次式清洗設備（Batch Cleaning）是同時處理多片晶圓的清洗系統。將 25～50 片晶圓放入治具（晶舟）後浸入藥液槽，以 RCA 清洗製程（SC-1・SC-2）為中心，一次完成多道清洗步驟。與單片式相比產能較高，廣泛用於成熟節點與大量生產產線。加上超音波・Megasonic（兆音波）功能後，微粒去除效率也有所提升。

重點整理

同時處理 25～50 片，實現高產能
一次完成 RCA 清洗製程（SC-1・SC-2）
廣泛採用於成熟節點・大量生產產線
以超音波・Megasonic 功能提升微粒去除效果
設備成本低，運轉穩定性高

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