DFG8540的特點與規格

DFG8540 是迪思科支援 200mm 晶圓的全自動研磨機。為在全球擁有實績的 DFG800 系列後繼機種，在維持基本規格與性能的同時，設備重量較 DFG850 減輕 28%。

最佳化研磨與搬送參數，可穩定進行 100µm 以下的薄化研磨。也支援 DBG（先切割後研磨），以及與應力消除機 DFP8140 的線上整合系統。

對齊 1 軸與 2 軸的研磨點，使 2 軸的研磨性穩定，提升面內與晶圓間的平坦度。砂輪、修整板、主軸、吸盤工作台與既有 800 系列相容。