最後更新:2026年10月23日晶背研磨機

DFG8340的特點與規格

迪思科(DISCO)・晶背研磨機

以高剛性主軸進行穩定高平坦化、適用 200mm 以下的全自動研磨機。為 DFG830 的後繼機種。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

DFG8340 是迪思科的全自動研磨機。為在全球擁有實績的 DFG830 的後繼機種,搭載高剛性主軸,將加工熱的影響降至最低,穩定地使晶圓高平坦化。

採用 1 主軸・2 吸盤工作台/1 轉盤的簡單小巧結構,可進行 8 吋以下矽晶圓的低損傷少量研磨,以及 SiC、藍寶石、陶瓷等的加工。

一般的研磨(Lapping)是使用游離磨粒的批次加工,是難以管理完成厚度的製程。DFG8340 一邊即時量測晶圓厚度,一邊僅以純水加工,因此可在降低環境負荷的同時提升加工品質,可用於取代 Lapping 加工。晶圓形狀可一鍵調整。

主要規格

方式1 軸 2 吸盤工作台
適用晶圓尺寸Φ4~8 吋
特點一邊即時量測厚度,一邊僅以純水加工

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以高剛性主軸實現高平坦化
即時量測厚度
僅以純水加工(取代 Lapping)

主要用途

  • 晶圓製造的平坦化
  • SiC・藍寶石的研磨

製造商與在台據點

在台據點
  • 迪思科高科技(DISCO Hi-Tec Taiwan)(台北・新竹・台中・台南・高雄):2007 年成立,全台 5 處據點,員工約 400 人

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資料來源

  1. 迪思科(DISCO)官方產品頁面:DFG8340