TND-Single 型是荏原製作所（EBARA）的尾氣處理設備。結合燃燒式與水洗式，將半導體製程排出的有害氣體無害化。於2019年推出。
TND-Single Plus 型以水洗・燃燒・水洗 3 段處理。荏原另備有以觸媒式分解 PFC 的 GCR 型、乾式的 GT 型，以及對應大流量氫氣與氯氣的 G6-E 型。
TND-Single 型的特點與規格
荏原製作所（EBARA）・尾氣處理設備（Abatement）
結合燃燒式與水洗式的荏原尾氣處理設備。於2019年推出。
產品概要
主要規格
| 處理方式 | 燃燒式＋水洗式（Plus 為水洗＋燃燒＋水洗） |
|---|---|
| 系列組成 | TND 型／GCR 型（觸媒式・PFC）／GT 型（乾式）／G6-E 型（大流量氫氣・氯氣） |
| 主要用途 | 半導體製程有害氣體的無害化 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
燃燒式＋水洗式
Plus 型為水洗＋燃燒＋水洗
2019年推出
主要用途
- 半導體製程有害氣體的無害化
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣荏原精密（EBARA Precision Machinery Taiwan）（台北）：半導體相關產品的銷售與售後服務