ScannerTemp的特點與規格

ScannerTemp 是科磊的原位（in situ）晶圓溫度量測系統。用於監控乾式、浸潤式、EUV 微影曝光機（掃描機）。

以無線晶圓在時間與空間兩方面取得高精度的晶圓溫度資料。可評估・監控影響疊對性能的掃描機熱差異。

由於是平坦且標準厚度的晶圓形狀，能以高精度與低雜訊監控微影的熱均勻性與穩定性，可用於掃描機的認證與匹配。