Surfscan SC1とは
Surfscan SC1 は、KLA の表面・フォトルミネッセンス（PL）検査装置です。パターンのない SiC、GaN などの化合物半導体ウェーハ向けに、量産に必要な最先端の感度とスループットを持ちます。
業界をリードする Surfscan プラットフォームをもとに、チップの性能と信頼性に影響する欠陥や表面品質の問題を見つけます。デバイス、装置、材料、基板の各メーカーで、装置・工程・材料の認定と監視に使われます。
DUV レーザーで重要な欠陥への感度を非常に高いスループットで得ます。暗視野、PL、ヘイズのモードを持つ多チャネル構成で、さまざまな欠陥を見分けます。
主な特長
- •DUV レーザー
- •暗視野・PL・ヘイズの多チャネル
- •化合物ウェーハ向けの高スループット
主な仕様
| 方式 | DUV レーザー・暗視野／PL／ヘイズの多チャネル |
|---|---|
| 対象 | パターンなしの SiC・GaN などの化合物ウェーハ |
| 主要用途 | 基板・装置・工程・材料の認定と監視 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | コベルコ科研SBW シリーズ（平坦度・形状測定装置） | ナプソンNC-80MAP | KLASurfscan® SC1 | KLAWaferSight™ 2+ | Onto InnovationNovusEdge® G2 | レーザーテックMAGICS M5640 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定項目 | Bow・Warp・GBIR（TTV）・SFQR | 抵抗率・シート抵抗（2D／3D マップ） | — | 平坦度・両面ナノトポグラフィ・エッジロールオフ | — | — |
| 主要用途 | ウェーハ形状の品質管理 | 基板の抵抗率検査 | 基板・装置・工程・材料の認定と監視 | — | — | — |
| 対象 | — | — | パターンなしの SiC・GaN などの化合物ウェーハ | 研磨・エピウェーハ、エンジニアード基板 | 300mm パターンなしウェーハのエッジ・ノッチ・裏面 | — |
| 測定方式 | 非接触ラインスキャン | 非接触（渦電流法） | — | — | — | — |
| 対象工程 | スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュ後 | Si・SiC・GaN ウェーハ | — | — | — | — |
| 方式 | — | — | DUV レーザー・暗視野／PL／ヘイズの多チャネル | ベアウェーハ形状計測 | — | — |
1機種だけが掲載している項目（5件）
| 構成 | — | — | — | — | モジュール構成（ノッチ検査はオプション） | — |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 機能 | — | — | — | — | 実行時の自動欠陥分類 | — |
| 光源 | — | — | — | — | — | 532 nm |
| 最高検出感度 | — | — | — | — | — | 50nm（ミラーポリッシュウェーハ上の PSL） |
| 検査時間 | — | — | — | — | — | 22 分／枚（300mm ノーマルスキャン） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •SiC・GaN 基板の品質管理
- •エピ・装置の監視
掲載カテゴリ
Surfscan SC1は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ウェハ基板検査装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07