Voyager 1035的特點與規格

Voyager 1035 是科磊的雷射掃描式圖案化晶圓缺陷檢測設備。支援先進邏輯與記憶體量產爬坡階段的缺陷監控。

以深度學習演算法 DefectWise 區分應關注缺陷（DOI）與圖案造成的雜訊缺陷，提高含細微缺陷在內的關鍵缺陷捕捉率。

以業界獨有的斜向入射照明，以及量子效率提升 30% 的新感測器，用更少的照射量，以高產出・高靈敏度檢測脆弱的光阻層。用於 EUV 微影的顯影後檢測（ADI）、微影單元監控（PCM），以及 193i・EUV 光阻的評估。