Voyager 1035とは
Voyager 1035 は、KLA のレーザー走査型のパターン付きウェーハ欠陥検査装置です。先端のロジックとメモリの量産立ち上げでの欠陥監視を支えます。
深層学習のアルゴリズム DefectWise で、注目すべき欠陥（DOI）とパターン由来のノイズ欠陥を分け、微妙な欠陥を含む重要な欠陥の捕捉率を高めます。
業界独自の斜入射照明と、量子効率を 30% 向上させた新しいセンサーで、より少ない照射量で繊細なフォトレジスト層を高スループット・高感度で検査します。EUV リソグラフィの現像後検査（ADI）やフォトセルの監視（PCM）、193i・EUV レジストの評価に使われます。
主な特長
- •DefectWise 深層学習
- •斜入射照明
- •量子効率 30% 向上のセンサー
主な仕様
| 方式 | レーザー走査型（斜入射照明） |
|---|---|
| 特徴 | DefectWise 深層学習・量子効率 30% 向上のセンサー |
| 主要用途 | 現像後検査（ADI）・フォトセル監視（EUV） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLAPuma™ 9980 | KLAVoyager® 1035 | KLA8935（8 シリーズ） | 日立ハイテクDI4600（暗視野式ウェーハ欠陥検査装置） | レーザーテックCIRIUS シリーズ |
|---|---|---|---|---|---|
| 特徴 | NanoPoint などの設計情報を使う検査 | DefectWise 深層学習・量子効率 30% 向上のセンサー | DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI | 高スループットと検出感度の両立 | — |
| 主要用途 | 量産ラインの欠陥モニタ | 現像後検査（ADI）・フォトセル監視（EUV） | — | 先端メモリ・ロジックのインライン欠陥管理 | — |
| 方式 | — | レーザー走査型（斜入射照明） | 高生産性のパターン付きウェーハ検査 | — | 独自光学系による内部欠陥検査＋レビュー光学系 |
| 検査対象 | パターン付きウェーハ（ロジック・メモリ） | — | — | パターン付きウェーハ（φ300 mm 専用） | — |
| 検出方式 | レーザースキャン | — | — | 暗視野（シートビーム・空間フィルタ） | — |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 対応基板 | — | — | 150／200／300 mm の Si・SiC・GaN・ガラスなど | — | — |
|---|---|---|---|---|---|
| 機能 | — | — | — | — | 内部欠陥の深さ分類 |
| 対象 | — | — | — | — | 3D NAND などの高積層デバイス・貼り合わせウェーハ |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •EUV の現像後検査
- •フォトセル・装置の監視
掲載カテゴリ
Voyager 1035は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
欠陥検査装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07